Hyper NA EUV

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  ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光

  ASML研发新一代Hyper EUV先进光刻机，目标实现0.7或更高NA，为2035年芯片产业做准备。

  潮玩君

  2025年6月30日